第152章 精密的舞台（1 / 2）

锐风半导体的主洁净厂房通道，像是一条连接凡尘与未来的纯白甬道。厚重的气密门在身后缓缓合拢，将外界的一切喧嚣隔绝。空气里弥漫着一丝淡淡的、特有的化学溶剂和高效过滤后空气的混合气味，温度恒定，湿度适宜，唯有高级别洁净区特有的、持续低沉的背景嗡鸣声萦绕耳际。

众人换上了特制的防静电连体洁净服，戴上头套、口罩和手套，甚至脚上都套了专用的鞋套，方才通过风淋室的彻底除尘，得以进入这片精密制造的核心区域。

透过巨大的观察玻璃窗，可以看到内部更为核心的区域。里面灯光通明，一排排高度自动化的设备井然有序地运行着，机械臂精准地抓取、放置着晶圆载具，AGV小车沿着地面预设的磁轨无声穿梭。穿着同样纯白洁净服、只露出眼睛的技术人员如同宇航员般，在设备间安静地巡视、操作，一切都在一种极致的秩序和安静中进行。

“啧啧，百闻不如一见。”第三席负手站在观察窗前，语气中带着恰到好处的赞叹，“尚总，贵公司的硬件设施和现场管理水平，确实令人印象深刻，比起我在欧美参观过的某些顶级大厂，也不遑多让啊。”

尚总脸上立刻堆起自豪的笑容：“张董过奖了！我们锐风一直秉持着‘精益求精’的理念，在硬件投入和现场管理上不敢有丝毫松懈。这些都是我们立足行业的根本嘛。”

Thomas在一旁配合地点头，用流利的中文补充道：“洁净度等级看来控制得非常好，粒子计数器数据很稳定。设备的自动化程度和稼动率也相当高，这对于保证产品良率和一致性至关重要。”他说话时，目光锐利地扫过设备上的状态指示灯和一旁的电子看板，上面实时滚动着各种生产参数。

尚总身后的一位技术副总连忙接话：“这位先生是行家啊！我们这条12英寸线，关键区域的洁净度稳定维持在ISO 3级（Class 1）标准。设备大部分都是从阿斯麦、应用材料、东京电子这些顶尖供应商引进的最新机型，自动化率达到了98%以上。”

刘峻推了推眼镜，看似随意地插了一句，声音透过口罩显得有些闷：“嗯，看到了不少AMAT的Endura和Centura平台，TEL的清洗站也不少。不过…我看蚀刻区那边，有几台设备的型号似乎比较老了，是i-line stepper？现在主流深紫外（DUV）浸没式光刻甚至极紫外（EUV）才是趋势吧？这对后续更先进制程的研发会不会形成瓶颈？”

技术副总的笑容微微一僵，略显尴尬地看了一眼尚总，才回答道：“这位先生眼光真毒辣。确实，那几台是老款的I-line光刻机，主要用于一些特征尺寸要求不那么苛刻的底层工艺和特殊器件制造。我们最新的ArF浸没式光刻机在隔壁B区，主要用于55纳米以下的关键层。至于EUV…不瞒您说，那东西太贵了，而且…禁运限制也多，我们目前还在努力突破DUV的极限。”

第三席了然地点点头，语气十分理解：“可以理解，高端装备的获取确实是我们国内企业面临的普遍难题。这也是我们星辰集团关注的重点投资领域——助力像锐风这样有潜力的企业，突破瓶颈，实现技术飞跃。”

他话锋一转，看似不经意地问道：“我听说贵公司在特种半导体材料，尤其是第三代半导体如碳化硅、氮化镓的外延生长和器件制备方面，有些独到的技术积累？特别是掺杂控制和缺陷密度降低方面，据说良品率相当不错？”

尚总闻言，脸上的自豪之色更浓：“张董消息真灵通！这块确实是我们的优势领域！我们在SiC外延的均匀性控制和GaN HEMT器件的电流崩塌效应抑制方面，确实有一些自主研发的工艺秘诀，良品率相比国内同行能高出十到十五个百分点！”

“哦？是吗？”第三席表现出极大的兴趣，“这可是核心竞争力啊。具体的工艺窗口参数和结构设计，一定是贵公司的最高机密了吧？”

“那是自然，那是自然…”尚总连连点头，但眼神深处闪过一丝警惕。

一直安静跟在后面的苏颖，此时轻轻开口，声音柔和却清晰：“尚总，张董，我们